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無氧氮氣柜和普通智能氮氣柜的區別

时间:2022-07-08     作者:杭州宏譽智能科技有限公司


       在半導體行業中,智能氮氣柜是前段晶圓制造和后段芯片封裝必不可少的設備之一,特別是晶圓存儲中氧含量和濕度的控制。

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        智能氮氣柜主要是通過濕度來控制電磁閥的開關,使用前設置氮氣柜的濕度,濕度沒有達到所設定濕度值則電磁閥開,氮氣持續沖入,濕度達到設定值以下則電磁閥關,氮氣關閉。

        所以智能氮氣柜的缺點就是在環境比較干燥或者氮氣柜有除濕模塊情況下只能沖入少量的氮氣,柜內達不到真正無氧的環境,而無氧氮氣柜則主要是通過氮含量來控制電磁閥的開關,晶圓的存儲環境是在低濕無氧的情況下,而不是低濕。

       選擇普通的氮氣柜還是無氧氮氣柜則根據您存儲產品的要求來選擇。




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